ÀÎÅÚÀº ¿À´Ã ±¹Á¦ÀüÀÚ¼ÒÀÚÇÐȸ(IEDM) 2022¿¡¼ 2030³â±îÁö ´ÜÀÏ ÆÐŰÁö¿¡ 1Á¶°³ÀÇ Æ®·£Áö½ºÅ͸¦ žÀçÇÏ´Â µî ¹«¾îÀÇ ¹ýÄ¢À» Áö¼ÓÇϱâ À§ÇÑ ÁÖ¿ä ¿¬±¸ ¼º°ú¸¦ ¹ßÇ¥Çß´Ù. ÀÎÅÚÀº ÁýÀûµµ 10¹è ´Þ¼º¿¡ ±â¿©ÇÒ 3D ÆÐŰ¡ ±â¼ú, ¸®º»Æê(RibbonFET)À» ¶Ù¾î³Ñ´Â 2D Æ®·£Áö½ºÅ͸¦ À§ÇÑ ¿øÀÚ 3°³ µÎ²²ÀÇ ÃʹÚÇü ½Å±Ô ¹°Áú, ´õ ³ôÀº ¼º´ÉÀÇ ÄÄÇ»ÆÃÀ» À§ÇÑ ¿¡³ÊÁö È¿À²¼º ¹× ¸Þ¸ð¸® ºÎ¹® ¼º°ú, ¾çÀÚ ÄÄÇ»ÆÃ °³¼± »ç·Ê µîÀ» ¹ßÇ¥Çß´Ù.
°Ô¸® ÆÐư(Gary Patton) ÀÎÅÚ ºÎǰ ¿¬±¸ ¹× ¼³°è Áö¿ø ºÎ¹® ÃѰý ºÎ»çÀåÀº “Æ®·£Áö½ºÅͰ¡ ¹ß¸íµÈ Áö 75³âÀÌ Áö³ Áö±Ý, ±âÇϱ޼öÀûÀ¸·Î Áõ°¡ÇÏ´Â ÄÄÇ»ÆÃ¿¡ ´ëÇÑ ¼¼°èÀÇ ¼ö¿ä¸¦ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ÇØ°áÇÏ´Â °ÍÀº ¹Ù·Î ¹«¾îÀÇ ¹ýÄ¢À» ÁÖµµÇÏ´Â Çõ½Å” À̶ó¸ç “ÀÎÅÚÀº IEDM 2022¿¡¼ ÇöÀç¿Í ¹Ì·¡ÀÇ À庮À» µ¹ÆÄÇÏ°í ³¡¾ø´Â ¼ö¿ä¸¦ ÃæÁ·Çϸç, ¹«¾îÀÇ ¹ýÄ¢À» Áö¼ÓÀûÀ¸·Î À¯ÁöÇϴµ¥ ÇÊ¿äÇÑ ÀüÇâÀûÀÌ°í ±¸Ã¼ÀûÀÎ ¿¬±¸ °á°ú¸¦ ¹ßÇ¥Çß´Ù”°í ¸»Çß´Ù.
¾Ø ÄÌ·¯Çã ¹Ú»ç(Dr. Ann Kelleher), ÀÎÅÚ ±â¼ú °³¹ß ºÎ¹® ÃѰý °â ¼ö¼®ºÎ»çÀåÀÌ Æ®·£Áö½ºÅÍ ¹ß¸í 75ÁÖ³âÀ» ±â³äÇØ IEDM ÃÑȸ¿¡¼ Ű³ëÆ® ¹ßÇ¥¸¦ ÁøÇàÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ÄÌ·¯ ¹Ú»ç´Â ½Ã½ºÅÛ ±â¹Ý Àü·«À» Áß½ÉÀ¸·Î »ýŰ踦 È®Àå, Áõ°¡ÇÏ´Â ÄÄÇ»ÆÃ ¼ö¿ä¸¦ ÇØ°áÇÏ°í ¹«¾îÀÇ ¹ýÄ¢ ¼Óµµ¿¡ ¸ÂÃß¾î º¸´Ù È¿°úÀûÀ̰í Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è°¡ Çõ½ÅÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °æ·Î¸¦ Á¦½ÃÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. º» ¼¼¼ÇÀº “Æ®·£Áö½ºÅÍ 75Áֳ⠱â³ä, ¹«¾îÀÇ ¹ýÄ¢ Çõ½ÅÀÇ ÁøÈ ¾Ë¾Æº¸±â”¸¦ ÁÖÁ¦·Î (ÅÂÆò¾çÇ¥ÁؽÃ) 12¿ù 5ÀÏ ¿ù¿äÀÏ ¿ÀÀü 9½Ã 45ºÐ¿¡ ÁøÇàÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
Àü ¼¼°èÀûÀ¸·Î ±ÞÁõÇÏ´Â µ¥ÀÌÅÍ ¼Òºñ¿Í ÀΰøÁö´É ±â¼ú ºÐ¾ß ¹ßÀüÀ¸·Î ÀÎÇØ »ç»ó ÃÖ´ëÀÇ ÄÄÇ»ÆÃ ¼ö¿ä°¡ ¹ß»ýÇÔ¿¡ µû¶ó, ¹«¾îÀÇ ¹ýÄ¢Àº ÀÌ·¯ÇÑ ¼ö¿ä¸¦ ÇØ°áÇϴµ¥ ÀÖ¾î ÇʼöÀûÀÎ ¿ä¼Ò´Ù.
Áö¼ÓÀûÀÎ Çõ½ÅÀº ¹«¾îÀÇ ¹ýÄ¢ÀÇ Ãʼ®ÀÌ´Ù. ÀÎÅÚ ºÎǰ ¿¬±¸ ±×·ì(Intel Components Research Group)Àº Áö³ 20³â µ¿¾È °³Àοë ÄÄÇ»ÅÍ, ±×·¡ÇÈ ÇÁ·Î¼¼¼ ¹× µ¥ÀÌÅÍ ¼¾ÅÍ¿¡¼ ½ºÆ®·¹ÀÎµå ½Ç¸®ÄÜ, ÇÏÀÌÄÉÀÌ ¸ÞÅ»°ÔÀÌÆ®, ÇÉÆê(FinFET) µî Áö¼ÓÀûÀ¸·Î Àü·Â, ¼º´É, ºñ¿ë ºÎ¹® °³¼±À» À§ÇÑ Çõ½ÅÀ» ÁÖµµÇؿԴÙ. ÇöÀç ÀÎÅÚ ºÎǰ ¿¬±¸ ±×·ìÀº °ÔÀÌÆ®¿Ã¾î¶ó¿îµå(GAA) Æ®·£Áö½ºÅ͸¦ Àû¿ëÇÑ ¸®º»Æê(RibbonFET), Èĸé Àü·Â Á¦°ø ±â¼úÀÎ ÆÄ¿öºñ¾Æ(PowerVia)¿Í EMIB ¹× Æ÷º£·Î½º ´ÙÀÌ·ºÆ®(Foveros Direct) µî Çõ½Å ÆÐŰ¡ ±â¼úÀ» °³¹ßÁßÀÌ´Ù.
ÀÎÅÚ ºÎǰ ¿¬±¸ ±×·ìÀº ¿ÃÇØ IEDM 2022¿¡¼ ¹«¾îÀÇ ¹ýÄ¢À» À̾±â À§ÇØ Ä¨·¿À» ¸Å²ô·´°Ô ÅëÇÕÇϱâ À§ÇÑ »õ·Î¿î 3D ÇÏÀ̺긮µå º»µù ÆÐŰ¡ ±â¼ú, ´ÜÀÏ Ä¨¿¡ ´õ ¸¹Àº Æ®·£Áö½ºÅ͸¦ ÁýÀûÇϱâ À§ÇÑ ÃʹÚÇü 2D ¹°Áú, ´õ ³ôÀº ÄÄÇ»ÆÃ ¼º´ÉÀ» À§ÇÑ ¿¡³ÊÁö È¿À²¼º ¹× ¸Þ¸ð¸® µî ¼¼ °¡Áö ¿µ¿ª¿¡¼ Çõ½ÅÀ» ´Þ¼ºÇÒ °ÍÀ̶ó°í ¹àÇû´Ù.
ÀÎÅÚ ºÎǰ ¿¬±¸ ±×·ìÀº ÆÐŰ¡°ú ½Ç¸®ÄÜÀÇ °æ°è¸¦ ¸ðÈ£ÇÏ°Ô ÇÏ´Â »õ·Î¿î ¹°Áú°ú °øÁ¤À» Ž»öÇØ¿Ô´Ù. ¶ÇÇÑ, ¹«¾îÀÇ ¹ýÄ¢À» Áö¼ÓÇØ ÇϳªÀÇ Ä¨¿¡ 1Á¶ °³ÀÇ Æ®·£Áö½ºÅ͸¦ ÁýÀûÇϸç 10¹è ³ôÀº »óÈ£¿¬°á ÁýÀûµµ·Î ÁØ-¸ð³î¸®½Ä(quasi-monolithic) ĨÀ» ¼±µµÇÒ °í±Þ ÆÐŰ¡ ±â¼úÀÇ ¹Ì·¡¸¦ Á¦½ÃÇß´Ù. ´õºÒ¾î, ¿øÀÚ 3°³ µÎ²²ÀÇ ÃʹÚÇü ½Å±Ô ¹°ÁúÀ» »ç¿ëÇÏ´Â ½Ç¿ëÀûÀÎ ¼³°è¸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î ¸®º»Æê ÀÌÈÄ ¹«¾îÀÇ ¹ýÄ¢À» Áö¼ÓÇÒ ¹æ¹ýÀ» Á¦½ÃÇß´Ù.
ÀÎÅÚ, Â÷¼¼´ë 3D ÆÐŰ¡À» À§ÇÑ ÁØ-¸ð³î¸®½Ä Ĩ °ø°³:
• ÀÎÅÚÀº IEDM 2022¿¡¼ ÇÏÀ̺긮µå º»µù ¿¬±¸ ¼º°ú¸¦ ÅëÇØ ÁýÀûµµ¸¦ 10¹è °³¼±ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù°í ¹àÇû´Ù.
• ÇÏÀ̺긮µå º»µùÀ» 3um ÇÇÄ¡±îÁö Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ÁÙ¿© ¸ð³î¸®½Ä ½Ã½ºÅÛ-¿Â-Ĩ°ú À¯»çÇÑ »óÈ£¿¬°á ÁýÀûµµ¿Í ´ë¿ªÆøÀ» ´Þ¼ºÇß´Ù.
ÀÎÅÚ, Æ®·£Áö½ºÅÍ ÁýÀûµµ Çâ»ó À§ÇÑ ÃʹÚÇü ‘2D’ ¹°Áú Ž»ö:
• ÀÎÅÚÀº ³·Àº ´©¼³Àü·ù·Î »ó¿Â¿¡¼ ÀÌÁß °ÔÀÌÆ® ±¸Á¶ÀÇ Æ®·£Áö½ºÅ͸¦ ÀÌ»óÀûÀ¸·Î ½ºÀ§Äª ÇÏ´Â µ¿½Ã¿¡ ¿øÀÚ 3°³ µÎ²²ÀÎ 2D ä³Î ¹°ÁúÀ» ÀÌ¿ëÇØ ³ª³ë½ÃÆ® ±¸Á¶¸¦ ÀûÃþÇÑ GAA¸¦ ½Ã¿¬Çß´Ù. ÀÌ´Â GAA Æ®·£Áö½ºÅ͸¦ ÀûÃþÇÏ°í ½Ç¸®ÄÜÀÇ ±Ùº»ÀûÀÎ ÇѰ踦 ³Ñ¾î¼´Âµ¥ ÇÊ¿äÇÑ µÎ °¡Áö ÁÖ¿ä µ¹ÆÄ±¸ÀÌ´Ù.
• ´õºÒ¾î, º¸´Ù ³ôÀº ¼º´É°ú È®À强À» °®Ãá Æ®·£Áö½ºÅÍ Ã¤³ÎÀÇ ±â¹ÝÀ» ´ÛÀ» ¼ö ÀÖ´Â 2D ¹°Áú¿¡ ÀüÀÚÀÇ Á¢ÃË ÇüÅ¿¡ °üÇÑ Æ÷°ýÀû ºÐ¼®À» ¾÷°è ÃÖÃÊ·Î °ø°³Çß´Ù.
ÀÎÅÚ, ÄÄÇ»ÆÃ ¼º´É Çâ»óÀ» À§ÇÑ ¿¡³ÊÁö È¿À² ¹× ¸Þ¸ð¸® ºÐ¾ß »õ·Î¿î °¡´É¼º Á¦½Ã:
• ÀÎÅÚÀº Ĩ ¿µ¿ªÀ» º¸´Ù È¿°úÀûÀ¸·Î »ç¿ëÇϱâ À§ÇØ Æ®·£Áö½ºÅÍ À§¿¡ ¼öÁ÷À¸·Î ¹èÄ¡ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¸Þ¸ð¸®¸¦ °³¹ß, ½ºÄÉÀϸµÀ» »õ·Ó°Ô Á¤ÀÇÇÑ´Ù. ÀÎÅÚÀº ¾÷°è ÃÖÃÊ·Î ±âÁ¸ °À¯Àüü Æ®·»Ä¡ ijÆÐ½ÃÅÍÀÇ ¼º´É°ú ÀÏÄ¡Çϸ鼵µ ·ÎÁ÷ ´ÙÀÌ¿¡ °À¯Àüü ·¥(FeRAM)À» ±¸ÃàÇϴµ¥ »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÀûÃþ °À¯Àüü ijÆÐ½ÃÅ͸¦ ½Ã¿¬Çß´Ù.
• ¾÷°è ÃÖÃÊÀÇ ÀåÄ¡(device) ±Þ ¸ðµ¨Àº °³¼±µÈ °À¯Àüü ÇÏÇÁ´Ï¾Æ(hafnia) ÀåÄ¡¸¦ À§ÇØ È¥ÇÕ À§»ó ¹× °áÇÔÀ» Æ÷Âø, »õ·Î¿î ¸Þ¸ð¸®¿Í °À¯Àüü Æ®·£Áö½ºÅ͸¦ °³¹ßÇϱâ À§ÇÑ »ê¾÷ µµ±¸¸¦ Áö¿øÇÑ´Ù.
• ÀÎÅÚÀº Àü ¼¼°è¸¦ 5G ÀÌÈÄ·Î ÀüȯÇϰí Àü·Â È¿À²¼º Çâ»óÀ» À§ÇØ 300mm GaN-¿Â-½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ·Î ÇâÇÏ´Â ±æÀ» Á¦½ÃÇß´Ù. ÀÎÅÚÀº ¾÷°è Ç¥ÁØ GaN ´ëºñ 20¹è ³ôÀº ¼º´ÉÀ» ½Ã¿¬ÇßÀ¸¸ç, °í¼º´É ÄÄÇ»ÆÃÀ» À§ÇÑ Àü·Â Á¦°ø ºÎ¹®¿¡¼ ¾÷°è ÃÖ°í ±â·ÏÀ» ¼ö¸³Çß´Ù.
• ÀÎÅÚÀº Àü·ÂÀÌ Â÷´ÜµÈ »óÅ¿¡¼µµ µ¥ÀÌÅ͸¦ À¯ÁöÇÏ´Â ºñÈֹ߼º Æ®·£Áö½ºÅÍ µî ¿¡³ÊÁö È¿À²ÀûÀÎ ±â¼úÀ» ȹ±âÀûÀ¸·Î ¹ßÀü½Ã۰í ÀÖ´Ù. ÀÎÅÚÀº ÇØ´ç ±â¼úÀÌ »ó¿Â¿¡¼ ½ÇÇöµÇ±â À§ÇÑ ¼¼ °¡Áö °úÁ¦ Áß ÀÌ¹Ì µÎ °¡Áö °úÁ¦¸¦ ÇØ°áÇß´Ù.
ÀÎÅÚ, ¾çÀÚÄÄÇ»ÆÃ¿¡ ´õ ³ªÀº Å¥ºø Á¦°øÀ» À§ÇÑ µ¹ÆÄ±¸·Î ¹°¸®Çп¡ ½Å°³³ä Áö¼Ó Á¦½Ã:
• ÀÎÅÚ ¿¬±¸ÁøµéÀº ¾çÀÚ µ¥ÀÌÅÍ¿¡ ȯ°æÀûÀÎ ±³¶õÀ¸·Î ÀÛ¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ´Ù¾çÇÑ ÀÎÅÍÆäÀ̽º °áÇÔÀ» ´õ ÀÚ¼¼ÇÏ°Ô ÀÌÇØÇϱâ À§ÇØ ³ë·ÂÇϰí ÀÖÀ¸¸ç, À̸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î ¾çÀÚ Á¤º¸¸¦ ´õ Àß ÀúÀåÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹æ¹ýÀ» ¿¬±¸ ÁßÀÌ´Ù.
ÃÖÀÎÈÆ ±âÀÚ news@newstap.co.kr